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GS-SAM-500 扫描超声显微镜是一种利用高频超声波对材料、器件进行亚表面及内部成像、并实现缺陷分析的无损检测高精密仪器，可检出气孔、裂纹、夹杂、分层起泡等内部缺陷，并以多角度、多方式进行直观展示，适用于氧化铝、氮化铝、碳化硅陶瓷基板及覆铜板等产品的质控需求。
设备配件
1. 声探头：国产/奥林巴斯/
2. 工控机：研华
3. 控制板卡：固高/ACS
4. 漏电开关：施耐德
5. 接触器：施耐德
6. 断路器：施耐德
7. 滤波器：上恒/ TDK
8. 感应器：欧姆龙/恩士
9. 伺服驱动器：高创/ACS
10. 直线电机：雅阁贝斯/维嘉
11. 脉冲收发器：JSR/声智谷
12. 前置放大器：JSR/声智谷
13. 数据采集卡：美国
操作软件
1. 用户管理功能（可以管理不同用户的登录和操作权限）
2. 探头管理功能（可以管理不同型号探头进行更换、 编辑、保存相关参数）
3. 具有开机软件、 硬件自我检测、 自我校准功能；
4. 具有XYZ轴限位保护功能；
5. 具有Z轴对焦限位保护功能， 避免探头与样件发生撞击；
6. 参数配置功能： 可以根据不同样件进行不同参数的设置、调校、 保存、 调用等， 便于切换和下次调用；
7. 探头快捷回位功能： 可以根据不同需求， 设置和选用不同的回位方式， 方便便捷操作；
8. 一键自动校准功能： 可自动对检测设备坐标偏移及检测系统能量变化， 校准系统漂移， 保证检测结果的准确性和稳定性；
1. 可测量材料类型：氧化铝、氮化铝、碳化硅、覆铜板芯片、PCB、陶瓷基板、2.5D/3D封装
2. 可测量范围：X轴500mm，轴400mm；
3. 可测量厚度：0.15-3.0mm
4. 扫描图像分辨率：≤1μm/像素
5. 扫描通道数：2通道（验收方法：实际运行后测试）
6. 满足分辨率条件下的对样品分层起泡的漏检率：≤1万
7. 满足分辨率条件下的对样品分层起泡的过检率：≤1万
8. 超声探头频率：支持5-300MHz多规格探头；
9. 重复定位精度：X轴≤±0.5μm，Y轴≤±1μm
10. 最大速度：X轴1000mm/s，Y轴1000mm/s；
11. 最大加速度：X轴1.5G, 轴0.5G；
12. Z轴结构：步进模组/圈电机随动可选
13. 运动平台：龙门平台，X和Y 轴采用直线电机+光学尺；
14. 水槽尺寸： 700*900*150
15. 显示器：27 寸液晶显示器； 2k 分辨率
16. 设备载台: 不锈钢治具， 光学玻璃载台
17. 双通道扫描方式：C 扫+T 扫;可分别实现， 亦可同时实现。
18. 设备功率：AC220V 单相； 50Hz； 3.5KW；
19. 设备重量：约 800kg；
